Micro 다이렉트
드라이브 모터
웨이퍼 공정 장비 및 정밀 광학/검사 시스템의 θ축 및
로터리 구동을 위한 Micro DD (Direct Drive) 모터로
백래시리스 및 진공 환경에서의 안정적인 동작과 고정밀 위치 제어를 목적
진공 환경
DD 모터
다양한 압력 조건에서 안정적인 구동 성능 확보
진공 챔버 내 로터리 스테이지 및 구동축에 적합
진공 챔버 내 로터리 스테이지 및 구동축에 적합